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가 ~ 라

마 ~ 아

자 ~ 하

- 용어설명 -
- 마 -
마스터	누설이 없는 기준품
마스터비교방식	차압검출 방식의 하나로 마스터와 워크의 차압변화를 검출하는 리크 테스트 방식.
마스터챔버	차압식 리크 테스트의 경우 마스터 워크 대신에 사용하는 워크와의 밸런스를 맞추기 위해서 사용한다. 마스터 챔버를 사용함으로써 누설이 없는 기준품(마스터)이 필요 없어지고, 마스터의 보수 관리가 용이하게 된다.
마스터 Pre-set기능	리크 테스터의 측정값을 누설성분과 드리프트량으로 분리하는 기능. 추출된 드리프트량을 「마스터 pre-set값」이라고 부르고, 이 값으로 측정값의 보정을 실시한다. (LS-1861, LS-1862)
매니폴드 클리닝	→ 에어 블로우 참조
멀티비교방식(특허출원중)	차압검출 방식의 1 테스트 사이클로, 2개의 워크를 동시 비교로 검사해, 그 중 하나의 워크를 마스터 비교로 재차 판정 하는 방식. 동시 비교 방식은 변형하는 워크나 온도의 높은 워크에서도 비교 측정하는 워크의 특성이 가까우면 상쇄되어 영향을 받기 어려워지므로 고정밀의 검출이 가능하지만, 누설량이 비슷한 워크를 비교 검출해 리크를 놓치는 위험이 있다. 마스터 비교를 하는 것으로 이 위험을 줄일 수가 있다. 게다가 1 사이클에서 2개를 처리 할수 있어서 테스트 시간의 단축이 가능
메뉴얼(MAN)	키보드에서의 조작　(⇔　 REM)
- 바-
바이패스유니트	리크 테스터의 외부로부터 직접 워크를 가압하는 대유량 밸브 유니트. 대용량 워크의 리크 테스트에 있어서 가압 시간을 단축할 수 있기 때문에 테스트 시간의 단축이나, 검출 제도의 향상이 가능. 전공레귤레이터를 사용하는 방법과 감압 밸브를 사용하는 방법이 있다.
배기간섭대책	복수의 테스터를 동일 장치로 사용하는 경우, 배기행정이 서로의 측정에 영향을 관여하는 것을 막는 기능. 모든 테스터의 배기 타이밍을 맞추기 때문에, 기동 신호를 끊으면 배기를 실시하도록 설정한다.
변위식리크테스터	워크를 캅셀에 넣어 진공으로 했을 때 워크가 부풀어 오르는 특성을 이용해 리크 테스트하는 검사 방식. 변형하기 쉽고, 내부에 공기를 포함한 워크가 대상. 이와 같이 워크의 특성에 의존하기 위해누설의 유무는 판정 할 수 있지만 누설량의 정량화는 이미 알고 있는 누설량으로 대응해야 한다.
- 사 -
샘플	→ 「학습 샘플」참조
센서고유계수	압력 센서에서의 압력 변화량과 용적의 변화량의 비율. 리크가 발생했을 때에 발생하는 차압변화는 용적 변화의 양에 의해 그 값이 바뀌고, 차압을 리크로 변환하는 계수로서의 내용적은 등가 내용적으로서 나타내진다. 단위 mL/kPa
셀프체크기능(자기진단기능)	매회의 계측에서 밸브 동작을 자기 진단해, 거듭 차압센서의 성능을 체크하는 기능.
수몰기포 검사(기포검지법)	워크내를 가압해 수중에 수몰 하든지, 비누수를 도포해 기포를 보는 리크 테스트 방식.
- 아 -
에어리크테스터	공기(압)를 이용해 여러가지 제품 및 부품의 누설을 검사하는 계측기. 자동차 관련, 가스 기구 관련에 넓게 실용화되고 있다. 특히 자동차 관련에의 보급이 현저하고, 거의 모든 부품의 제조 공정에서 온라인으로 전수 검사를 하고 있다. 자동차 부품의 경우, 실제로는 기름·가솔린·물 등이 사용되는것의 누설검사를 공기로 하고 있다.
에어블로우(매니폴드클리닝)	워크로부터의 이물 침입을 방지하고, 계측 회로의 클리닝을 실시하는 것과 동시에 가압밸브의 동작 확인과 차압센서의 기능 확인을 실시하기 위해서 계측 종료시에 공압원을 열어 에어를 배기구로 불어내는것. (인텔리전트 I, II 에어 회로)
예비가압/예비배기	가압 행정에 들어가기 전에 일단 워크를 가압해 대기압으로 되돌리는 것으로 검출 행정에서의 워크의 변형을 안정시키는 가압 방식. 압력에 의한 변형이 큰 수지 워크등의 경우에 사용하지만, 불균형이 반드시 작아진다고는 할 수 없으므로 실험에 의해 검증이 필요하다.
오토드리프트보정(학습보정)기능	과거 몇개의 양품 샘플 데이터로부터 보정량을 요구하는 학습 방식. 완만한 환경의 변화에 추종해 보정을 실시한다. 과거 우량품 데이터가 없는 경우나 시업시 등 리크 테스트의 환경이 크게 변화하는 경우에 mastering값을 오토 드리프트 보정의 초기값으로서 사용한다.　(⇔ 고정 드리프트 보정)
오토리크캐리브레이션 기능	측정계의 등가 내용값을 자동적으로 산출하는 기능.
오토리크캐리브레이터(ALC)	다이얼 설정을한 용적을 파일럿압의 전환으로 변화시키도록 한 용적 자동 가변 탱크. 리크 calibration(등가 내용적의 계측)과 K체크에 사용된다.　(⇒ 등가 내용적)
외부배기밸브	테스터의 외부에 설치하는 배기 밸브. 테스터의 내부에 워크내의 물이나 기름 등의 이물이 혼입하는 것을 막는다. 동작 제어는 테스터 본체로 실시한다.
외압검출방식(2차압검출방식)	워크를 캅셀에 넣든지 부분적으로 싸우고, 워크내를 가압 또는 감압해 누설에 의해 생기는 캅셀내의 압력 변화를 검출하는 방식. 워크 내용적이 크게 내부의 차압이 검출하기 어려운 워크나 변형하기 쉬운 워크, 테스트압이 높은 경우에 적절한 리크 테스트 방식.
용적검출캅셀식리크테스터	마스터와 워크를 캅셀에 넣어 캅셀내를 가압(감압)해, 누설에 의해 생기는 미차압변화를 검출하는 방식. 표면 실장형 밀봉 소형　전자 부품이나 의약 포장품등의 밀봉품이 대상.
용적변화	리크 테스트 행정의 검출 (DET) 중에 워크측 또는 마스터측에 용적의 변화가 있으면(자) 차압이 발생해 계측 오차를 일으킨다.
워크	피검사물
유량계법	누설량은 유량과 동등한 것에서 미소 유량계를 개입시켜 워크에 공기를 공급하는 방법으로 누설량을 측정할 수가 있다.
인텔리전트I 에어회로	내압 검출 방식의 리크 검출 회로로, 열의 발생이 없는 독자 개발의 공기 작동밸브를 이용하고 있다. 고압용, 특고압용, 부압용을 제외해, 리크 테스트 종료시에 에어 블로우를 실시해, 워크로부터의 이물 침입을 방지하고, 회로의 클리닝을 실시하는 것과 동시에 가압밸브의 동작 확인과 차압센서의 기능 확인을 실시하는 기능을 탑재하고 있다.
인텔리전트II 에어회로	인텔리전트I 에어회로에 등압밸브가 추가되어 워크와 마스터의 등압회로를 마련한회로 (⇒ 등압 회로)